Кафедра микро и наноэлектроники (МиНЭ)

Краткая информация

Заведующий кафедрой

Борисенко Виктор Евгеньевич

доктор физико-математических наук, профессор
Направление научной работы В 1968 году создан научно-исследовательский сектор. В 1987 году научно-исследовательский сектор преобразован в научно-исследовательскую часть (НИЧ). В 1989 году НИЧ переведена на новые методы финансирования и хозяйствования с использованием формы хозрасчета.

В настоящее время в составе НИЧ функционирует 47 научно-исследовательских лабораторий, 9 исследовательских групп и 11 центров.

В выполнении научных исследований участвует профессорско-преподавательский состав университета, свыше 250 штатных научных и инженерно-технических работников, докторанты, аспиранты, магистранты и студенты, которые представляют научные школы, получившие признание не только в республике, но и за рубежом. Это - школы академиков Национальной Академии Наук Беларуси В.А.Лабунова и А.П.Достанко, докторов наук профессоров В.Е.Борисенко, В.А.Сокола, А.А.Кураева, И.В.Боднаря, , Л.М.Лынькова, А.П.Кузнецова, Н.Т.Квасова и др. Финансирование научно-исследовательской деятельности осуществляется за счет средств республиканского бюджета по государственным программам различного уровня, собственных средств промышленных предприятий, международных исследовательских центров и фондов, а также за счет контрактов с зарубежными фирмами. Университет участвует в выполнении 23 программ, в их числе 2 программы Союзного государства "Нанотехнология СГ", "Космос-НТ", 7 государственных научно-технических программ и 12 государственных программ научных исследований. Основными зарубежными партнерами университета являются научно-исследовательские организации и фирмы России, Китая, Индии, Италии, Кореи, Бельгии, Венесуэлы.

При Научно-исследовательской части функционирует Центр трансфера технологий в области радиоэлектроники (Центр), который создан в рамках Программы реализации Концепции развития вузовской науки.

Центр осуществляет свою деятельность, взаимодействуя с вузами Республики Беларусь, их научными подразделениями, предприятиями и организациями РБ, а также с международными и национальными организациями зарубежных стран по вопросам трансфера технологий.

Основными задачами Центра являются организация работ по концентрации и эффективному использованию для нужд республики научно-технического потенциала вузов в области радиоэлектроники и информатики; отбор коммерчески перспективных научно-технических разработок.

Изготовление научно-технической продукции по требованиям заказчика, обучение персонала, стажировки специалистов могут быть организованы по многим тематикам, в том числе - новые технологии в микроэлектронике:
- Ионно-плазменные и ионно-лучевые процессы и оборудование.
- Моделирование физико-химических процессов.
- Биомедицинская техника и технологии.
- Техническая диагностика структур и технологических сред.
- Материаловедение микроэлектроники.
- Электрохимическая алюмооксидная технология (ЭЛАТ) создания изделий электронной техники
- Сборочные процессы изделий электроники.
- ИК процессы и оборудование.


ЦЕНТР КОЛЛЕКТИВНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ (ЦЕНТР 4.11) «НАНОЭЛЕКТРОНИКИ И НОВЫХ МАТЕРИАЛОВ»

подробнее

Научный руководитель: - Борисенко Виктор Евгеньевич, профессор, д.ф.-м.н.
Директор: - Лешок Андрей Александрович, к.ф.-м.н.

Штатные сотрудники:
Филонов Андрей Брониславович, к.ф.-м.н., в.н.с.
Шапошников Виктор Львович, к.ф.-м.н., с.н.с.
Кривошеева Анна Владимировна, к.ф.-м.н., с.н.с.
Подрябинкин Денис Аркадьевич, к.ф.-м.н., с.н.с.
Пушкарчук Вадим Александрович, к.ф.-м.н., с.н.с.
Маковская Татьяна Ивановна, м.н.с.
Сидорова Татьяна Николаевна, м.н.с.

Научные направления:
Кремниевые и германиевые наноструктуры и их применение
Наноструктурированные оксиды вентильных металлов и их применение для фотокатализа
Спинтроника и квантовые вычисления
Полупроводниковые соединения для оптоэлектроники и фотовольтаники
Зондовые исследования и нанотехнологии

НИЛ 4.2 ТЕХНОЛОГИЯ ГИБРИДНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ

подробнее

Заведующий НИЛ 4.2: д.т.н., проф. Сокол Виталий Александрович
Сотрудники:
вед.н.с.: к.т.н. Воробьева А.И.
к.ф.-м.н. Гиро А.М.
к.т.н. Яковцева В.А.
к.т.н. Уткина Е.А.
с.н.с.: к.ф.-м.н. Литвинович Г.В.
н.с.:Глушков А.А.
Гомолко П. В.
Копоть А.И.
Михайлов Д.Н.
Радионов А.А.
Шиманович Д.Л.
ИТР:
Бабрович Ю.М. - вед.переводчик
Василевская Т.А. - инж.-технолог I кат.
Меледина М.В. - вед. инж.-технолог
Мельникова С.В. - инж.-технолог I кат.
Ярошевич И.В. - вед. инж.-технолог
Волохович А.И. - техник II к.

Основные направления научных и прикладных исследований и разработок:

1. Электрохимические процессы анодирования Al, Ta, Nb, Ti.
2. Разработка электрохимической алюмооксидной технологии (ЭЛАТ) ГИС и многокристальных модулей, включая основные базовые операции:
• вакуумное напыление; фотолитография; анодирование. ЭЛАТ позволяет создавать практически любое радиоэлектронное устройство на основе алюминия и его оксидов, включая алюминиевые подложки, многоуровневую систему межсоединений и корпуса для ГИС и СБИС. ЭЛАТ запатентована в России, Белоруссии и США. Практическое применение разработок НИЛ: связанные устройства, СВЧ устройства гигагерцового диапазона, многокристальные модули, различные мощные радиоэлектронные устройства, прецизионные мембраны с каналами до 1 нм, малоинерционные датчики влажности и температуры, наноконденсаторы с удельной ёмкостью 10-100 мкФ/см2 и др.
На международных выставках разработки НИЛ 4.2 получали золотые и серебряные медали. Опубликовано более 200 статей и 2 монографии.

НИЛ 4.1 «ФИЗИКА ПРИБОРОВ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ»

Заведующий лабораторией:Абрамов Игорь Иванович, д.ф.-м.н., профессор
Сотрудники:
Курмашев В.И., д.т.н., профессор, вед. н. с.
Тимошков Ю.В., канд. техн. наук, вед. н. с.
Коломейцева Н.В., н.с.
Романова И.А., н.с.
Щербакова И.Ю., м.н.с.
Ореховская Т. И., вед. инж.-техн.
Сакова А.А., инж.

Направления исследований связаны с физикой и моделированием приборных структур и устройств следующих типов: 1) биполярных и униполярных элементов и схем микроэлектроники;
2) на эффекте одноэлектронного туннелирования;
3) на эффекте резонансного туннелирования;
4) на квантовых проволоках;
5) включающих углеродные нанотрубки, а так же связано с использованием нанотехнологий для медицинских и биологических приложений, созданием нано- и микроэлектромеханических устройств различного назначения.

НИЛ 4.3 «МАТЕРИАЛЫ И СТРУКТУРЫ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ»

подробнее

Заведующий лабораторией: Бондаренко Виталий Парфирович к.т.н, доцент
Заместитель заведующего лабораторией: Долгий Леонид Николаевич
Сотрудники: Клышко Алексей Александрович
Бондаренко Анна Витальевна
Долгий Алексей Леонидович
Чубенко Евгений Борисович
Редько Сергей Владимирович
Шапель Александр Петрович
Абрамов Константин Игоревич

Направления исследований:
Электрохимический и химический синтез наноструктур и наноматериалов,
Разработка и исследование полупроводниковых приборов на основе КНИ-технологии,
Разработка и изготовление МЭМС-устройств,
Исследование оптических и электрофизических свойств материалов микро- и наноэлектроники

НИЛ 4.4 «КОМПЬЮТЕРНОЕ ПРОЕКТИРОВАНИЕ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ»

подробнее
презентация лаборатории

и.о.заведующего лабораторией: Стемпицкий Виктор Романович, канд. техн. наук, доцент
Сотрудники лаборатории:
Старшие научные сотрудники:
Костров А. И., канд. техн. наук,
Кулешов А. А., канд. физ.-мат. наук, доцент

Младшие научные сотрудники:
Козлова О. А.,
Ловшенко И. Ю.,
Чан Туан Чунг,
Долгая Я. В.

Инженеры-электроники:
Барашенко М. Н.,
Боровик А. М.,
Гринкевич С. В.,
Коротыш Н. Г.

Техники:
Бурко В. А.,
Зеленина М. С.


Основные направления научных исследований:
• теоретические исследования, компьютерное моделирование и проектирование технологии изготовления интегральных микросхем (ИМС) и полупроводниковых приборов;
• исследование и моделирование методами молекулярной динамики и квантовой механики (из первых принципов) характеристик новых материалов и структур, в том числе наноразмерных, а также объектов биологического происхождения с использованием высокопроизводительных вычислительных систем (суперкомпьютеров);
• разработка методов, алгоритмов и программного обеспечения для проведения статистического анализа и оптимизации параметров технологических процессов изготовления ИМС и систем на их основе, а также процессов микробиологического производства;
• разработка методов, алгоритмов и программного обеспечения для экстракции и верификации параметров SPICE-моделей полупроводниковых приборов;
• разработка методов, алгоритмов и программного обеспечения для удаленного проектирования ИМС и обучения с использованием Интернет-технологий.

НИЛ 4.6 «ИНТЕГРИРОВАННЫЕ МИКРО- И НАНОСИСТЕМЫ»

подробнее

Заведующий лабораторией:
Лабунов Владимир Архипович, академик НАН Беларуси и иностранный член (академик) Российской Академии Наук, доктор технических наук, профессор.
Зам. заведующего лабораторией - Шулицкий Борис Георгиевич, ведущий научный сотрудник.
Сотрудники лаборатории:
Филиппов Валерий Викторович, гл. науч. сотрудник, д-р физ.-мат.наук, проф.;
Комиссаров Иван Владимирович. вед. науч. сотрудник, канд. физ.-мат. наук;
Табулина Людмила Васильевна, вед. науч. сотрудник,канд. хим. наук;
Зимин Анатолий Борисович, ст. науч. сотрудник, канд. физ.-мат. наук;
Радюк Дарья Владимировна, ст. науч. сотрудник, канд. физ.-мат. наук;
Кашко Иван Анатольевич, науч. сотрудник;
Грапов Дмитрий Викторович, науч. сотрудник ;
Русальская Тамара Георгиевна, науч. сотрудник;
Ковальчук Николай Георгиевич, науч. сотрудник;
Портнов Лев Яковлевич, вед. инженер-технолог;
Мисевра Татьяна Григорьевна, вед. инженер-электроник;
Татарский Евгений Константинович, вед. инженер - системотехник;
Зудов Юрий Алексеевич, вед. инженер;
Иванов Кирилл Валерьевич, инженер-электроник;
Михновец Любовь Александровна, инженер-электроник;
Ткач Анастасия Николаевна, инженер-электроник;
Черепко Максим Артурович, инж.-электроник;
Кукуть Юрий Михайлович, инж.-электроник;
Нигериш Кирилл Анатольевич, инженер-электроник;
Шахнович Александр Владимирович, инженер-электроник;
Рудницкая Дарья Андреевна, инженер-электроник;
Борисенко Денис Петрович, инженер-электроник.

Основные направления работ:

- проектирование и производство изделий микро- и наноэлектроники;
синтез и исследование углеродных нанотрубок и органических молекулярных нанокристаллитов;
- разработка и изготовление изделий микро- и наноэлектроники на основе углеродных нанотрубок и органических молекулярных нанокристаллитов;
- разработка электрохимических, плазменных и лазерных процессов формирования субмикронных и наноразмерных элементов электронных систем;
- разработка кластерного бесшаблонного технологического комплекса для супербыстрой разработки и изготовления нестандартных (заказных) изделий микро- и наноэлектроники (минифаб);
- разработка технологии создания интегрированных систем на пластине.

НИЛ 4.7 «УСТРОЙСТВА ОТОБРAЖЕНИЯ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ»

подробнее

Заведующий лабораторией: Смирнов Александр Георгиевич, д.т.н., профессор
Зам. заведующего лабораторией: Березовик Александр Михайлович, вед.инж.
Сотрудники:
Астафьев Владимир Михайлович, вед.инж.
Позняк Петр Степанович, вед.инж.
Муха Евгений Владимирович, м.н.с.
Степанов Андрей Анатольевич, м.н.с.
Карпович Александр Александрович, инж.
Казаркин Борис Андреевич, инж.
Сацкевич Янина Владимировна, техник

Направления исследований: разработка новых наноматериалов и нанотехнологий для перспективных устройств и систем оптоэлектроники, нанофотоники, дисплейной техники.

НИЛ 4.10 «НАНОТЕХНОЛОГИИ»

подробнее

Заведующий лабораторией: Горох Геннадий Георгиевич к.т.н.
Сотрудники лаборатории: ПлиговкаА.Н. - н.с.;
Сурганов А.В. - н.с.;
Семеняков Л.В. - н.с.;
ЗахлебаеваА.И. - м.н.с.;
ЛозовенкоА.А. -инженер;
Сочнева Е.В. - техник
Направления исследований: Развитие электрохимических методов в нанотехнологии, в частности, формирование и исследование наноструктурированных модифицированных форм анодных оксидов на Al, Ta, Nb, Zr и др., их сплавах и многослойных структурах, создание на их основе функциональных элементов и систем для микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники и микромеханики

Основные разработки:
- Микромощные химические газовые сенсоры и микросистемы на основе нанструктурированных материалах и нанопористых подложках и мембранах;
- матрицы полевых эмиссионных катодов на основе массивов углеродных нанотрубок и металлических нанопроводов; - - интегральные автоэмиссионные элементы для вакуумных микроэлектронных приборов;
- прецизионные термостабильные тонкоплёночные резисторы на основе пленок с островково-сетчатойнаноструктурой и высокодобротные тонкопленочные конденсаторы на основе пленок со столбиково-матричнойнаноструктурой;
- наноструктуры и квантовые провода на основе бинарных полупроводниковых соединений в пористых матрицах для создания перспективных оптоэлектронных приборов

НИЛ 4.12 «ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЕ МАТЕРИАЛЫ»

подробнее

Заведующий лабораторией Лазарук Сергей Константинович, д.ф.-м.н.
Сотрудники: Мигас Д.Б., д.ф.-м.н., вед. н. с.
Долбик А.В., н. с.
Сасинович Д.А., м.н.с.
Кацуба П.С., м.н.с.
Купреева О.В., м.н.с.
Основные направления работ:
- формирование электрохимически наноструктурированных материалов (пористый кремний и пористые оксиды вентильных металлов ряда Al, Ti, W, Nb, Hf) и их применение в интегральной электронике (ИМС, МЭМС);
- разработка светоизлучающих диодов на основе наноструктурированного кремния;
- интеграция оптических и металлических межсоединений на кремниевых подложках;
- исследование процессов быстрого окисления наноструктурированного кремния и их использование в качестве источника энергии, альтернативного углеводородным материалам.

НИЛ 4.5 «НАНОФОТОНИКА»

подробнее

Заведующий лабораторией: Гапоненко Николай Васильевич, д.ф.-м.н., доцент, профессор кафедры микро- и наноэлектроники
Сотрудники: Ковалевский А.А., в.н.с., к.т.н., доцент
Лабунов В.А., г.н.с., д.т.н., профессор, академик НАН Б
Строгова А.С., м.н.с.
Циркунов Д.А., н.с.
Хорошко Л.С., инж.-эл.
Руденко М.В., м.н.с.
Направления исследований связаны с синтезом и физико-химическими исследованиями низкоразмерных структур наноэлектроники и нанофотоники:
1) пленочные структуры, формируемые золь-гель методом;
2) люминесцентные структуры с оптической анизотропией и двухцветные изображения на основе пористого анодного оксида алюминия
3) пленочные структуры, содержащие квантовые точки кремний-германий
4) конденсаторные структуры и элементы энергонезависимой памяти, включая квантовые точки и сегнетоэлектрики
5) пленочные преобразователи рентгеновского излучения в видимое,
6) фотокаталитически активные покрытия для систем очистки воды,
7) наноразмерные порошки кремния с тугоплавкими металлами для горения и фотокатализа.

Научные исследования проводятся совместно с ОАО "Интеграл", а также с университетами и академическими институтами Беларуси, России, Украины, Польши, Великобритании, Франции, Туниса. Сотрудниками лаборатории выполнен ряд международных проектов: INTAS-Belarus 97-250, INTAS 03-51-6486, NATO Collaborative Linkage grant N PST.CLG.978751, МНТЦ B-276.2). Двум сотрудникам была присуждена стипендия Президента Республики Беларусь.
Научные работы НИЛ 4.5 согласно базе данных Scopus цитировались более 850 раз. ают за рубежом.
Дата основания 1964
№ кабинета 115-1
Web-сайт

https://www.bsuir.by/ru/kaf-mikro-i-nanoelektroniki


E-mail

kafme [at] bsuir [dot] by


Специальности (направления специальностей, специализации)

Показатели работы в 2017 г.

Печатных изданий 21
Публикаций в научных изданиях 145
Предприятия для распределения выпускников Парк высоких технологий, НПО «Интеграл», ОАО «Электромодуль» г. Молодечно,