Физика взаимодействия заряженных частиц и излучений с кристаллами.
Физика ионно-лучевого легирования материалов.
Новые субмикронные технологии микроэлектроники.
Преломляющая и отражающая рентгеновская оптика; капиллярная ионная оптика. Моделирование процессов переноса носителей в элементах субмикронной и наноэлектроники, электрофизических свойств и электрических характеристик субмикронных МОП-транзисторов, приборов наноэлектроники и резонансных туннельных систем.
Моделирование техпроцессов микро-, опто- наноэлектроники.
Ионно-лучевая литография и физика ионной имплантации полимеров.
Физические процессы в низкотемпературной плазме и разработка приборов контроля и управления вакуумно-плазменными технологиями.
Аэрокосмические радиоэлектронные и информационные системы и технологии
Показатели работы в 2023 г.
Печатных изданий
3
Патентов и изобретений
3
Публикаций в научных изданиях
89
Внедренных разработок
2
Выпущенных специалистов
16
Распределенных специалистов
14
Предприятия для распределения выпускников
НПО «Интеграл», предприятия Парка высоких технологий, Институт физики НАН Беларуси
Дополнительная информация
В коллективе кафедры 28 человек (из них 3 доктора и 9 кандидатов физико-математических наук). На кафедре функционируют НИЛ материалов и приборных структур микро и наноэлектроники, СНИЛ нанотехнологий и компьютерного моделирования, исследовательско-технологический центр коллективного пользования нанотехнологий и физической электроники.
Заведующий кафедрой Комаров Ф.Ф.является основателем научно-педагогической школы в области физической электроники и радиационной физики твердого тела.
Кафедрой издано 16 монографий, 5 из которых переизданы в США и 2 изданы в Польше, сотни статей в ведущих мировых изданиях.
Авторские коллективы, в состав которых входили сотрудники кафедры, удостоены Государственной премии Республики Беларусь и Премии имени А.Н.Севченко.
Кафедра является организатором проведения Международной конференции «Взаимодействие излучений с твердым телом».
Успехи сотрудников кафедры по тематике научных исследований признаны как в нашей республике, так и за рубежом. Кафедра принимала участие в выполнении международных проектов со Стенфордской лабораторией синхротронного излучения, Люблинским техническим университетом, Институтом физики твердого тела и полупроводников Йенского университета им.Ф. Шиллера, университетом Эрланген-Нюрнберг (Германия). По результатам НИР, выполняемым на кафедре за последние пять лет, на предприятиях Республики Беларусь (УП “Белмикросистемы”, УП “Завод Транзистор”и “Завод полупроводниковых приборов”НПО «Интеграл», МНИИРМ) внедрено 15 разработок.